应用概述
高纯气体从存储，输送，分配到使用，都离不开压力监测。麦克传感器研制生产的压力变送器是精准获取高纯气体压力信息的有力仪表，对需要保障供气系统安全、稳定、无污染且满足工艺制成要求的用户来说，是理想的选择。
高纯气体从存储，输送，分配到使用，都离不开压力监测。麦克传感器研制生产的压力变送器是精准获取高纯气体压力信息的有力仪表，对需要保障供气系统安全、稳定、无污染且满足工艺制成要求的用户来说，是理想的选择。
1、现场环境恶劣，对仪表稳定性要求高；
2、工况复杂，现场仪表的测量精度要求高；
3、保障供气系统安全、稳定、无污染且满足工艺制成。
1、产品密封性高，氦气泄漏率: ≤ 1 x 10-10MPa I/ sec(atm STD cc/sec)，符合SEMIF1；
2、洁净度高，生产地点：百级清洁车间；表面处理：电抛光，符合SEMI F19；表面光洁度：典型值≤0.13μm 最大值≤ 0.18 μ；
3、耐腐性好，材质316L VAR，符合 SEMI F20 标准；
4、长期稳定性好，长期稳定性±0.25%FS/年，高EMC防护等级，零点可调；
5，结构特点，紧凑精小，适用于狭小空间
